
सेमीकन्डक्टर उद्योगमा स्टेनलेस ट्यूबहरूको प्रयोग, विशेष गरी उच्च शुद्धता सिमलेस स्टेनलेस स्टील ट्यूबहरू (316L, 316L EP, BA), अर्धचालक निर्माण प्लान्टहरू (Fab) मा एक अपरिहार्य कुञ्जी आधार सामग्री हुन्, मुख्य प्रदर्शन गर्दै।
अर्धचालक उद्योग मा स्टेनलेस स्टील ट्यूब को आवेदन
स्टेनलेस स्टील ट्यूबहरू, विशेष गरी उच्च-शुद्धता सीमलेस स्टेनलेस स्टील ट्यूबहरू (316L, 316L EP, BA), अर्धचालक निर्माण प्लान्टहरू (फ्याब्स) मा एक अपरिहार्य मुख्य आधार सामग्री हुन्, मुख्य रूपमा अल्ट्राप्योर ग्यासहरू, रसायनहरू र अल्ट्राप्योर पानीको ढुवानी गर्ने कार्यहरू गर्दछ।
सेमीकन्डक्टर चिप उत्पादन प्रदूषणको लागि अत्यन्तै संवेदनशील छ:
1. कण प्रदूषण
2. धातु प्रदूषण
3. आर्द्रता प्रदूषण
4. जैविक पदार्थ (TOC) संग प्रदूषण
नानोमिटर-स्तरको अशुद्धताले पनि सम्पूर्ण वेफरको विफलता निम्त्याउन सक्छ।
तसर्थ, यातायात प्रणाली हुनुपर्छ:
1.अल्ट्रा-उच्च शुद्धता
2. अशुद्धता को अत्यधिक कम उत्सर्जन
3. जंग प्रतिरोध
4. कुनै कण गठन छैन
5. दीर्घकालीन स्थिर कामको लागि क्षमता
र इलेक्ट्रो-पालिश (EP) 316L स्टेनलेस स्टील ट्यूबहरू अब मुख्यधारा समाधान हुन्।
मुख्य आवेदन परिदृश्यहरू:
1. विशेष ग्यास आपूर्ति प्रणाली
2. अल्ट्रा शुद्ध पानी प्रणाली
3. रासायनिक आपूर्ति प्रणाली
4. भ्याकुम प्रणाली
स्टेनलेस ट्युबिङ मानकहरू सेमीकन्डक्टर उद्योगमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ
| नाम | मानक |
| सामग्री | ३१६L |
| मानक | ASTM A269 |
| अल्ट्रा उच्च शुद्धता मानक | SEMI F20 |
| सतह उपचार | B.A., E.P. |
| रुखोपन | Ra ≤ ०.२५ µm |
| वेल्डिंग विधि | कक्षीय वेल्डिंग |
| सरसफाई कक्षा | कक्षा १०० / ISO ५ |